Микроскоп для контроля кремниевых пластин и микроэлектроники

Кремниевые пластины, подложки, дорожки и контактные площадки непрозрачны, поэтому их смотрят в отражённом свете — металлографическим микроскопом. Светлое поле показывает рисунок и геометрию, тёмное поле — царапины, частицы и сколы, которые в светлом поле почти не видны.

Подобрать под задачу Получить КП

Что выбрать

Модель	Методы	Увеличение	Когда выбирать
ММН-41	Светлое и тёмное поле, поляризация	50–1000×	Пластины, подложки, полупроводниковые структуры, покрытия
ММН-41Э	Светлое и тёмное поле, поляризация	50–1000×	Крупные пластины и габаритные объекты — нижнее расположение стола
ММЭ-43	Светлое и тёмное поле, поляризация	50–500×	Печатные платы и крупные узлы — стол 300×268 мм
ММН	По исполнению: светлое и тёмное поле, поляризация, ДИК	—	Когда нужен рельефный контраст (ДИК) и модульность

Что ещё понадобится

камера МС с программой — фото дефектов и измерения ширины дорожек;
объект-микрометр отражённого света — для калибровки измерений;
для осмотра смонтированных плат и корпусов — цифровой MC-ZOOM-4K.

Частые вопросы

Зачем тёмное поле при контроле пластин?

В тёмном поле рассеивающие дефекты — частицы, царапины, сколы — светятся на тёмном фоне и хорошо заметны.

Чем отличаются ММН-41 и ММН-41Э?

Оба работают в светлом и тёмном поле и поляризации с увеличением 50–1000×. У ММН-41Э нижнее расположение стола — удобнее для крупных пластин и габаритных объектов.

Можно ли измерять ширину дорожек?

Да, камерой с программой измерений после калибровки по объект-микрометру.

Смотрите также

Опишите задачу — предложим 1–2 варианта комплектации и подготовим КП.

Подбор микроскопа для микроэлектроники

Имя* Email* Телефон Организация и ИНН Задача

Нажимая «Отправить», я подтверждаю, что ознакомлен(а) с Политикой обработки персональных данных и даю согласие на обработку моих персональных данных (ФИО, телефон, e-mail) в целях обратной связи.