ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П
- Цена по запросу
- в наличии
Рассчитаем под вашу комплектацию, с НДС.
Условия формирования цены
ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.
ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами, определяющими методы измерения концентрации междоузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ и p-p+, КНС и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.
Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений (№18895-99), регистрация подтверждена на Украине, в Белоруссии и Казахстане.
Таблица характеристик:
| Спектральный диапазон, см-1 | 400–7800 |
|---|---|
| Спектральное разрешение, см-1 | 1 |
| Диаметр светового пятна на образце, мм | 6 |
| Максимальный размер пластин, мм | 200 |
| Точность позиционирования стола, мм | 0,5 |
| Время стандартного измерения в одной точке, с | 20 |
| Размеры спектрометра, мм | 670x650x250 |
| Вес спектрометра, кг | 37 |
* — Поставляется по дополнительному заказу.
Основные преимущества:
- Высокая чувствительность. Спектрометр в 10–100 раз превосходит по чувствительности дифракционные приборы типа ИКС и SPEKORD, что позволяет регистрировать предельно низкие концентрации и малые количества веществ.- Высокая производительность. Время получения спектра 2–20 с позволяет выполнять экспрессные измерения, перейти от выборочного контроля продукции к сплошному, контролировать параметры технологических процессов в реальном времени.
- Автоматизация измерений. Повышает надежность измерений, позволяет автоматизировать учет результатов и повысить эффективность их обработки.
- Простота эксплуатации. Интерферометр не требует настройки, имеется встроенный стандарт длины волны, процесс тестирования и поверки автоматизирован.
- Модульная конструкция. Спектрометр может быть легко адаптирован для решения специализированных задач, например: газовый анализ, анализ топлив и масел, контроль полупроводникового кремния.
Частые вопросы об ИК фурье-спектрометре ФСМ 1201П
Для чего предназначен ФСМ 1201П?
ФСМ 1201П — специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе фурье-спектрометра ФСМ 1201 с двухкоординатным измерительным столом. Он предназначен для неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур диаметром до 200 мм в автоматическом режиме, по заданным оператором точкам.
Какие параметры кремниевых пластин можно измерить прибором?
Прибор позволяет измерять концентрацию междоузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, толщину эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ и p-p+, КНС и др., а также определять состав слоев ФСС и БФСС и параметры диэлектрических слоев.
Какова максимальная точность позиционирования измерительного стола?
Точность позиционирования измерительного стола составляет 0,5 мм, диаметр светового пятна на образце — 6 мм, время стандартного измерения в одной точке — 20 секунд.
Зарегистрирован ли ФСМ 1201П как средство измерения?
Да, прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений (№18895-99), регистрация подтверждена на Украине, в Белоруссии и Казахстане.
На базе какого спектрометра построен ФСМ 1201П?
ФСМ 1201П построен на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201 из семейства спектрометров ФСМ.